創控科技FOUP微環境監測整合式解決方案 首度公開亮相
全球AMC及VOCs監測廠商創控科技(6909)提供半導體製程高度客製化AMC監控應用解決方案,協助半導體廠更嚴密地做好AMC氣體微污染管理,提升半導體製程良率,創控今年在SEMICON Taiwan 2024國際半導體展首度公開最新產品FMS 2000半導體製程FOUP(前開式晶圓傳送盒)微環境監測整合式解決方案,為先進製程解決FOUP污染監測問題。
創控表示,在半導體製程中,FOUP內的污染是一個嚴峻的挑戰,從乾淨到受污染的晶圓,過程涉及FOUP排氣、轉移到晶圓以及FOUP可能再次受到污染等階段,過去因為缺乏監測解決方案,污染物的持續交換會放大影響,導致缺陷、良率下降和設備使用壽命縮短。透過創控的微環境監測整合式解決方案,能精準協助客戶監控包括NH3、Amines、SO2、IPA、Toluene、Acetone、HF、HCl等常見污染。
創控MiTAP系列產品提供完整AMC監測運用,從環境監測、晶圓搬運盒(FOUP)潔淨度確認到設備機台內的污染管控,都有最符合經濟效益的解決方案核心產品。從全廠環境到廠內、製程中之設備,於現地單點或搭配多點採樣系統,MiTAP Manifold System於先進製程更貼近客戶需求。
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