史陶比爾機器人 晶圓搬運高速可靠

文／李淑慧

半導體製程從IC設計、晶圓製造到後段製程的封測，每個工序環環相扣，仰賴周邊設備的可靠性和效率達到高產量需求。憑藉雄厚的實力和持續創新力，史陶比爾積極深耕半導體領域逾30年，提供包括工業機器人和AGV無人搬運車等產品，在全球知名半導體廠皆有史陶比爾機器人的蹤跡。

晶圓價格昂貴且容易破裂，如何平穩搬運滿載的晶圓盒成為頭痛的課題。無塵室設備特別選用史陶比爾無塵室機器人，確保晶圓載具在搬運和儲存的高速和可靠性，並實現更高的產量，同時可將顆粒排放降至最低。

史陶比爾主攻塗佈製程、晶圓級封裝應用和3D整合。機器人的緊密機構設計可直接安裝在底座上，並配備兩個裝載模組，以確保最佳成本及效率。極精密的史陶比爾TX2六軸機器人可以輕鬆滿足從ISO2到ISO4的無塵室潔淨度要求。

德國Fabmatics自動化公司專精於半導體製程中高靈敏度矽晶圓的儲存和搬運的設備研發。搬運貴重的晶圓的首要之務是精度、無顆粒和100％的安全性。德國Fabmatics公司最新開發的「CubeStocker」是carrier handling的直立式全自動儲存系統，該系統之核心為機器人龍門架，由兩個平行控制的線性軸和一個史陶比爾六軸機器人組成，按無塵室規格設計的TX2-90XL可達到ISO2級，可從運輸系統中取出cassette送入儲存位置，機器人是該設備核心，占地面積小，保養頻率低。基於史陶比爾公司在運動學領域高精度和線性方面的專業研究，該系統能實現敏感晶圓的安全和無抖動搬運。

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