挑戰ASML！成立四年便造出28奈米光刻機 陸神秘晶片設備廠新凱來擾動全球產業鏈
在近日落幕的 SEMICON China 2025 展會上，一家成立僅四年的深圳晶片設備商 SiCarrier Technologies(新凱來) 成為全場焦點。這家由深圳政府產業基金支持的半導體設備製造商首次公開展示了涵蓋光刻、薄膜沉積、蝕刻等核心製程的 30 餘款自主設備，其中 28 奈米級 300 毫米晶圓光刻技術更引發全球半導體產業的高度關注。
新凱來表示，該公司的目標是打造端到端的半導體製造解決方案，目前已構建起從材料研發、組件製造到系統集成的完整開發鏈條，尤其在 28 奈米製程上已具備跟國際主流設備商同台競技的能力。
新凱來此次展出的設備清單涵蓋原子層沉積 (ALD)、化學氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、蝕刻、退火等關鍵製程。儘管未直接展示光刻設備，但據悉，新凱來已成功研發出適用於 300 毫米晶圓的 28nm 浸潤式光刻系統，其光源波長、套刻精度等核心技術參數達到國際同類產品水平。
半導體產業分析師王磊表示，28 奈米是目前成熟製程與先進製程的分水嶺，也是中國半導體設備廠商必須攻克的關卡。新凱來的技術突破意味著國產設備在關鍵製程上實現了從無到有的跨越。值得注意的是，該公司還在展會上推出了適配功率半導體的電氣性能測試、良率檢測等配套設備，顯示其在細分領域的精準佈局。
新凱來 2020 年在深圳註冊成立，由深圳市引導基金聯合多家本土資本共同註資，目標直指高階晶片製造設備國產化。公司成立之初便在北京、上海、西安等地設立研發中心，並在全球招募頂尖技術人才。該公司核心團隊成員多來自荷蘭艾司摩爾、美國應用材料等國際巨頭，涵蓋光刻、蝕刻、檢測等關鍵領域的資深工程師。
儘管成立時間較短，新凱來已展現出強烈的市場進取心，目前客戶名單涵蓋中芯國際、華虹集團等國內重量級晶圓廠，部分蝕刻設備已在功率半導體產線實現批量應用。新凱來打算在未來三年內將研發中心擴展至 10 個以上城市，並在歐洲、東南亞設立技術服務中心。
新凱來市場總監趙敏說，「我們的優勢在於快速響應客戶需求和定制開發能力」，並指針對國內晶圓廠設備兼容性問題，已組建專門團隊進行製程適配攻關，預計明年將推出與艾司摩爾、應用材料設備完全兼容的升級版本。
新凱來的橫空出世，正值全球半導體產業劇烈震盪之際。根據 SEMI 最新報告，2024 年中國半導體設備採購額達 320 億美元，佔全球市場份額的 28%，但國產設備滲透率不足 15%。新凱來 28 奈米光刻機的亮相，無疑為中國半導體設備國產化注入強心劑。
清華大學微電子研究所所長魏少軍說，「這不僅是技術突破，更是產業生態的重建」，並稱新凱來代表的「深圳模式」，也就是政府基金引導、市場化運作、全球化引才的模式，正改寫全球半導體設備競爭格局。設備廠商需警惕「重研發輕生態」的陷阱，只有建構起完整的產業鏈協同體系，才能真正實現自主可控。
但即便前景光明，新凱來仍面臨多重考驗。業界普遍聚焦在其設備能否無縫接取現有產線，以及在良率、穩定性等關鍵指標上能否比肩國際巨頭。
對此新凱來技術長陳東表示，已跟多家晶圓廠建立聯合實驗室，預計今年第四季公佈首批商業化訂單數據。
芯謀研究首席分析師顧文軍指出，半導體設備是典型的高投入、長週期行業，四年的累積只是開始。新凱來的崛起標誌著中國半導體設備產業進入深水區，未來需要在電子設計自動化 (EDA) 工具、先進封裝設備等領域實現更大突破。
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