準力單面拋光機 高精密

文／蔡榮昌

政府推動半導體設備自製，準力機械響應政策，近年來投入半導體晶圓研磨與拋光機，為工具機跨入半導體研磨領域成功企業。己研發晶圓減薄研磨機與雙面拋光機，今年再推出更精密的單面拋光機JL-S12。S12設計主要功能：屬於單頭拋光之單磨頭設計，其製程控制系統，以確保晶圓表面的均勻拋光，這對於維持晶圓各層的完整性至關重要。

JL-S12單頭拋光機，它提供儲存和管理多個配方的能力，可以在不同拋光製程之間快速切換；即時監控包括拋光壓力、墊磨損、漿料流量等參數的即時監控系統，實現對拋光過程的嚴格控制。

JL-S12單頭拋光機器，配備拋光墊調節系統，可長期保持拋光墊的有效性，確保結果一致，系統可以精細控制拋光過程中施加的壓力，這對於實現所需的材料，去除率和表面鏡面度至關重要；機器也含有清潔模組用於清除晶圓表面的任何殘留漿料或碎片，拋光時避免刮傷；漿料輸送系統，可在拋光過程中精確控制漿料的量和分布。

JL-S12適用產品：單晶矽／多晶矽、STI淺溝槽、鎢拋光、銅鑲嵌（WLP和MEMS）、光學玻璃、石英、硬脆材料、金屬類銅、鋁等拋光等。洽準力公司林小姐，網址：www.joenlih.com。

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