明遠精密成功打入國際半導體設備龍頭廠供應鏈，力拚12月中上櫃

【財訊快報／記者李純君報導】半導體圈又將有新兵上櫃，明遠精密(7704)為半導體臭氧供氣系統、遠端電漿源、射頻電源系統及技術維修供應商，其產品主要應用於半導體製程中的化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）等關鍵製程。為因應2050淨零碳排的目標，環境部採「碳費先行」政策，預計在2025年向首波重點企業徵收碳費；因此，各大企業積極在每個環節中致力減碳。明遠精密其中主力產品之一ACME（射頻電源系統）是高度節能半導體設備，能有效協助客戶大幅減碳，節能效果最高更達68.7%，深受晶圓代工大廠等客戶青睞，成為製程標準機台配置；截至今年6月底已出貨200餘套，每年協助客戶減少23座大安森林公園的碳排放量。

此外，明遠精密的高效節能射頻電源系統用於CVD製程，確保氣體分子在沉積過程中均勻裂解和反應，形成高質量薄膜。臭氧供氣系統則用於ALD製程，有助於提高薄膜均勻性和致密性。遠端電漿源主要用於腔體清潔，能有效去除製程殘留物，同時減少對腔體的損傷，延長設備壽命。隨著半導體製程持續向更先進節點發展，CVD和ALD製程在晶片製造中的重要性與日俱增，明遠精密產品主要應對先進製程對薄膜品質、均勻性和精確控制的嚴格要求。

再者，明遠精密在半導體臭氧技術領域，具備12吋半導體臭氧供氣（Ozone）設備維修技術自主開發能力，不單能自製關鍵部件如發生器、控制器、壓力控制器和感測器等，還推出自有品牌「Finesse AOS」系統，已成功進入ALD製程並累計出貨超過30套。在遠端電漿源（RPS）技術方面，明遠精密是台灣首家自行開發RPS設備的公司，其研發成果已通過經濟部A+研究計畫，並申請多項專利。

明遠精密今年前三季累計營收為5.74億元，稅後淨利7637萬元，每股淨利2.5元。營收佔比部分，技術服務49%、自有品牌30%、半導體備品買賣21%。公司也透露，已成功進入國際半導體設備龍頭廠的供應鏈，而其半導體臭氧供氣系統Ozone Generator技術更已在全球主要的半導體設備製造商中廣泛應用，公司對後續營運動能相當樂觀，力拚12月中上櫃。