大陸推進EUV還需10年 ASML CEO:禁令有效果
半導體設備龍頭艾司摩爾執行長 Christophe Fouquet近日受訪時提到,目前大陸主要的晶片生產商雖然取得不錯的進展,但是在EUV設備禁令下,與西方國家仍有10至15年的差距。
Christophe Fouquet指出,雖然目前大陸的中芯國際利用DUV可以生產7奈米晶片,但是成本、良率仍然沒辦法與台積電相比,如果要開發EUV相關設備至少還需要10至15年的時間。
過去艾司摩爾與合作夥伴建立EUV的生態系花費超過20年的時間,雖然大陸不需要從頭開發所有的東西,但是當大陸進展到Low-NA EUV 設備時,西方國家已經有High-NA EUV技術、甚至已經開發出Hyper-NA EUV設備。
目前華府針對艾司摩爾提出禁止協助大陸公司維修、維護DUV設備的禁令,但仍未被荷蘭政府同意,主要是艾司摩爾希望維持對大陸DUV設備的控制權,否則讓大陸公司接手後,許多機密資訊將會外洩。
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