客戶需求強勁 家登再砸9.1億元於土城擴產

（中央社記者鍾榮峰台北2021年2月18日電）因應產能擴增需求，台積電 (2330) 供應鏈之一、EUV光罩盒大廠家登 (3680) 再投資新台幣9.1億元，取得新北市土城區土地不動產約1626坪，興建廠辦。

家登去年8月斥資4.87億元取得土城區土地不動產，總面積約870.29坪，市場預期家登今年動土、2022年後完工，屆時產能可望倍增。

台積電今年擴大資本支出規模到250億至280億美元，創歷史新高，擴大採用EUV技術可期，帶動家登在EUV光罩盒10年布局邁入收成期。

家登是半導體光罩載具全球第一大廠，也是台積電極紫外光（EUV）光罩盒獨家供應商。董事長邱銘乾指出，家登會做EUV光罩盒，是大股東英特爾（Intel）投資的要求，因為英特爾不希望只有單一供應商。

法人指出，半導體晶圓製造7奈米以下先進製程，主要仰賴EUV微影工序，因此極紫外光層（EUV layer）更是關鍵，隨著7奈米、5奈米、3奈米先進製程演進，光罩數也從5層推升到15層與25層，由於7奈米以下光罩成本高，因此EUV設備及EUV光罩成本龐大，使得切入EUV光罩盒具的門檻較高。

目前全球供應EUV光罩盒以家登與美商英特格（Entegris）為主，家登市占率約88%，英特格約12%。

展望今年上半年營運，家登日前表示，遠距辦公和教學應用帶動半導體需求強勁，旗下包括極紫外光光罩盒與晶圓載具等訂單能見度，都已看到第2季。

因應客戶強勁需求，家登EUV光罩盒今年底前月產能將擴增到2000顆規模。家登也積極搶攻半導體矽晶圓廠前開式出貨盒清洗設備市場，最快今年上半年接單量產。

家登今天股價高檔整理，終場收在355元，小跌0.14%。（編輯：張良知）