台積電第一台high NA EUV設備預計9月到位,有望16A、14A製程導入使用

【財訊快報/記者李純君報導】晶圓代工龍頭廠台積電(2330)的第一台high NA EUV設備,最快可望在今年9月到位,最快有望在台積電的16A、14A奈米製程中導入使用。ASML日前提到,在high NA EUV設備的訂單部分,目前在三大晶圓代工廠和純韓系記憶體大廠都已經下單。此舉意味著,除英特爾外,三星與台積電等全球三大晶圓廠,及SK海力士均已經下單採購。

而業界傳出,台積電所下單的high NA EUV,將於9月抵達台灣,初期會投入研發,後續可望在2奈米以下的埃米世代部分量產使用。high NA EUV的設備因為售價高達3.5億歐元到4億歐元,屢遭業界喊貴。