《科技》ASML光照模組零件，MIT提高至50％

時報資訊

【時報-台北電】經濟部長沈榮津上周出訪歐盟，與能源、半導體、電信相關聯盟商談未來合作事宜。經濟部次長王美花25日透露，由於ASML在台灣收購漢微科，看好台灣半導體供應未來蓬勃發展，在台員工將持續擴增，未來ASML會擴大在台研發，強化未來布局。

經濟部官員透露，ASML除了提高台灣研發能量之外，也會逐步提高「DUV光照傳輸模組」設備中的MIT(台灣製造)零件比重，以因應台積電7奈米建廠需求。

王美花說，ASML是半導體設備最頂尖的供應商，主要客戶就在台灣，但談到後續建設期程，王美花只說「不知道，這部分很機密」。她說，ASML的黃光機是十分精密的生產工具，就算在荷蘭都是受到嚴密保護的生產製造，現在因為會使用的客戶都在台灣，並看好台灣半導體先進製程，現階段表達在台灣擴增研發意願，但後續擴廠及投資目標，現在仍言之過早。

這次ASML提升DUV的MIT零件比重，據傳是為了台積電7奈米設備而調整，在製造初期都會使用到DUV，預料也會影響台積電在7奈米製程，晶圓及記憶體可望因此提高MIT國產化的占比。

據了解，目前現有設備台灣成分13％，預計2至3年內，讓MIT零件提高至50％，未來會尋找台灣相關廠商及供應鏈來談，確保DUV光照傳輸模組的零件供應無虞。(新聞來源：工商時報─馮建棨／台北報導)

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