台積大擴產，微污染防治成標配，華景電為指定供應商，今年EPS上看15元

財訊快報

【財訊快報／記者李純君報導】台積電(2330)積極擴建3奈米與更先進製程產能，而微污染防治更進一步成為標配，值得注意的是，華景電(6788)為指定主要供應商，今年受惠程度可期，法人圈更估算，華景電今年每股淨利可以上看13~15元。當半導體製程進入3奈米及更先進世代後，微污染防治重要性與日俱增，台積電為了降低晶圓搬送及生產過程中的微污染導致良率下降，所以3奈米製程生產線的所有設備，都要另外加裝微污染防治裝置，其中，業界傳出，華景電是指定且主要的微污染防治裝置及模組供應商，今年受惠於晶圓代工大廠3奈米產能急速拉升，營運表現大躍進。華景電2024年上半年營收9.03億元，年增57.04%，稅後淨利2.11億元，上半年每股淨利6.06元，下半年表現有望比上半年好。

以晶圓廠的生產設備建置來看，3奈米及未來2奈米的產線，微污染防治裝置的配置會更多，最主要是增加安裝充氣模組（Purge Unit）及風刀模組（Laminar Flow）。華景電自有的12吋晶圓卸載模組Loadport產品，於硬體機構設計時納入Purge Unit做整合，充氣模組可供安裝單流量計或多段流量控制MFC，同時透過溫濕度感測器、流量計及壓力計取得各項數值，監控FOUP內微環境條件，以此提升製程良率。同時可搭載Laminar Flow，阻絕外部高濕氣體於FOUP開門時滲入，將濕度大幅降低至5%以下。



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