佳世達旗下資騰科技SEMICON Taiwan展，大秀先進製程與EUV應用技術實力

【財訊快報／記者張家瑋報導】佳世達集團(2352)旗下半導體暨封裝設備材料代理商資騰科技將於2024 SEMICON Taiwan，偕同歐美日及在地合作夥伴展出來自德國之物理性去光阻技術、臭氧水產生設備、智能振動感測器、濕製程微汙染監控解決方案及AI Particle Imager影像檢測儀等先進半導體製程設備。該公司表示，目前所代理半導體、面板及封裝材料設備已廣泛應用於面板廠、自動化設備廠與半導體客戶製程中。資騰科技是佳世達集團旗下羅昇(8374)子公司，為半導體、平面顯示器及封裝設備與材料等技術服務公司，主要專業領域於黃光微影製程應用、晶圓承載傳送系統、晶圓凸塊製程及檢測設備、雷射應用系統等。

此次展會，資騰科技將聚焦於運用隨機性誤差量測工具在先進製程與EUV應用，以及VOC回收產品，可應用於AI伺服器散熱之雙相浸潤式冷凍液回收。其中Intelligent Fluids GmbH來自德國的創新清潔液體，具備去汙、去膠和去光阻等效果，可取代NMP等有毒溶劑。臭氧水產生設備在晶圓清洗過程中，可降低RCA製程的藥劑使用量，目前在矽基半導體與碳化矽半導體製程中獲得廣泛採用。

資騰科技表示，所提供尖端技術解決方案的專業銷售平台，已在市場建立了穩固的合作夥伴關係。透過與和淞科技、韶揚科技、友達數位、邑流科技、普格諾斯科技、其陽科技、帝畢仕等多家合作夥伴的緊密合作，提供客戶應對先進製程和EUV應用挑戰的解決方案。