《資服股》提升精準度 虎門科技高階白光干涉儀進入台灣市場

【時報記者張漢綺台北報導】虎門科技(6791)與德國原廠專家共同宣布第一台Polytec高階白光干涉儀正式進入台灣市場，提供銷售和量測服務，可精確測量微米甚至奈米級的表面輪廓，有助於半導體、精密光學、微機電、航空航天、醫療等高精度要求的領域，提升產品質量控制與測量的精度。

根據市場研究，全球表面測量設備市場的預計年複合增長率（CAGR）在6％至8％左右，主要增長動力來自半導體和精密製造應用領域，市場規模達數十億美元，其中白光干涉儀占有相當大的比重，Polytec是國際上知名的高精度測量儀器製造商，Polytec的白光干涉儀主要用於精密表面形貌與粗糙度的測量，以高精度、非接觸式測量與易於操作而著稱。在技術上，Polytec白光干涉儀巨觀量測設備（Marco View）一次性量測具有同業最大的視野45 mm * 34 mm，並有對焦找尋（Focus Finder）功能，能快速對焦找到樣品表面進行量測，減少客戶量測與分析時間。

虎門引進全台第一台Polytec奈米級白光干涉儀，Polytec白光干涉儀主要應用於非接觸式的高精度測量，適合用於多種行業，尤其是對表面形貌、粗糙度以及微結構有嚴格要求的領域，包括：半導體製程中晶圓、半導體元件、基板、薄膜材料等；鏡頭、透鏡、反射鏡等精密光學元件和顯示面板等；機密機械與微機電元件、航空航太與汽車引擎等精密零件；此外，測量對象是微小結構、精密表面或高反射性、透明材料時，需要進行高精度、非接觸式的表面形貌或粗糙度測量，Polytec白光干涉儀是相當有效的工具。另外也現場展示Polytec VibroFlex Qtec高精度振動都卜勒量測儀，可量測高達24M Hz的頻率，對粗糙度高和有吸收表面的材質都能精準量測，也可針對高速運動物體進行測試。

虎門來自半導體和精密製造領域客戶占比相當高，引進Polytec白光干涉儀準確測量與控制表面質量，能減少後期的返工或質量問題，幫助客戶提高生產效率、增強現有市場競爭力，虎門新增高精度的測量服務，持續深化客戶關係，將有助增強客戶信任和公司品牌價值，保持虎門穩定成長動能。