蔚華科投資埃爾思，取得奈米探針及微米探針中國獨家經銷權

【財訊快報／記者李純君報導】半導體封裝測試設備供應商蔚華科技(3055)宣佈攜手國內風投機構完成對新創公司「埃爾思科技」的戰略性股權投資，此外蔚華也同時與埃爾思簽訂針對其奈米探針（Nano Probe）及微米探針（Micro Probe）兩領域業務，簽署中國獨家經銷合約。埃爾思創辦人暨董事長張維哲說明，埃爾思是一家四年資歷的新創公司，核心成員皆來自中研院物理所的研究團隊，主要以專利製備單原子針並使之可以順利場發電流密度極大但光源尺寸極小的多種惰性氣體離子為其核心技術，而奈米與微米探針即是該技術的衍生應用。

埃爾思的策略目標是架構單原子針技術在FIB設備上即可實現極小尺度的晶圓缺陷檢測與IC電路修補工作，一般被認為是補齊半導體在10奈米製程以下所面臨的線上品檢技術缺口，以及提供快速驗證IC新設計架構正確性的最佳途徑，現在透過蔚華的資源整合與資金挹注，將可縮短GFIS-FIB（氣體場離子源聚焦離子束設備）研發上市的時程。

蔚華董事長秦家騏表示，隨著高速運算、神經網路、量子電腦、無人駕駛等科技產業需求快速攀升，發展低功耗、小尺寸、異質整合及超高運算速度的晶片架構技術，已成為全球半導體製造業者最重要的產業趨勢與決勝關鍵。本次攜手埃爾思推廣奈／微米探針業務以及GFIS-FIB之落地應用，希望能帶入更大的業績效益。

而自今年7月起，蔚華也將開始對中國半導體與面板客戶推廣奈米與微米探針全系列產品，同時也積極幫助埃爾思儘早達成GFIS-FIB研發上市目標，提前布局先進半導體製程所需的失效分析檢測與電路修補關鍵技術。