台積電設備博覽會 展出76項設備工程師創新成果 (圖)

台積電設備博覽會15日在中科晶圓15A廠舉行,現場展出76項設備工程師創新成果。這項蝕刻設備電漿全自動清潔及人工智慧影像辨識機器人,未來將取代送洗,有助節省成本,估計每年效益可達新台幣4億元。

中央社記者張建中攝 111年11月15日