台積電啟動竹科再生水專案 3年後日供萬噸給2奈米新廠

台積電（2330）推動水資源再利用有新進展，10月ESG成果揭露南科再生水廠正式完工並通水，並宣布擴大再生水應用範圍，啟動竹科再生水廠專案，預計2025年每日供應1萬噸再生水給2奈米廠區並配合市政再生水供應，未來將達成竹科新建廠區百分之百使用再生水。

台積電南科再生水廠預計年底前每日可供應1萬公噸工業再生水，目前所有廠區水回收已達每滴水使用3.5次。台積電持續擴大再生水應用範圍後，2030年台灣廠區再生水替代率將達60%以上。

台積電2015年起投入再生水技術研發，建置模廠並以實廠廢水進行測試，透過反覆調整處理程序強化水質；由於先進製程潔淨度需求提升與系統運轉優化，為使再生水品質符合製程規格，日前集結工研院、中鼎集團、台大、陽明交通大學等產官學界力量，開發導入低能耗生物處理、低能耗汙泥處理、高效能尿素去除等創新技術，並與台南市府及南科管理局合作建置供水模式。

台積電南科再生水廠是南科廠區再生水製造、偵測與供應中心，除回收南部科學園區汙水廠放流水以產製工業再生水外，並於永康及安平汙水廠市政再生水進入廠區前把關水質。

目前台積公司也投入研發以廢熱進行濃縮廢水回收與汙泥資源化技術，避免濃排廢水外流，預計2026年南科再生水廠產能將提升至每日供水3.6萬公噸。

除了再生水應用擴大，台積電在水資源使用效率上也結合供應商開發晶圓盒清洗機台節水控制系統，打造「熱水回收循環系統」，成功將晶圓傳送盒清洗機台未運作時熱水100%回收，今年已通過驗證，第三季導入晶圓12B廠，並列為未來新購機種標準設計。目標至2030年可年省140萬公噸純水及1.1億度電。

另外，秉持機台節能最大化的原則，台積電也評估改造晶圓傳送盒清洗機台腔體與噴嘴設計以降低乾燥氣體使用量，同時開發腔體未運作期間節能模式，預計2023年第一季進行驗證，朝每台晶圓傳送盒清洗機台節能30%目標前進。(審核：葉憶如)

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• Yahoo財經特派記者 呂俊儀：資深財經媒體工作者，曾任採訪團隊主管，專訪過長榮集團創辦人張榮發、鴻海創辦人郭台銘，也歷經台積電創辦人張忠謀退休記者會等大事件，堅持產出最專業、富有洞見的新聞。