《電子零件》SEMICON Taiwan展,志聖將秀恆溫式無塵烤箱

【時報記者張漢綺台北報導】志聖工業 (2467) 將於國際半導體產業協會(SEMI)所舉辦的SEMICON Taiwan展覽中以「自動化熱製程設備」為主題,展示全新開發完成的半導體恆溫式無塵烤箱、自動化真空烤箱、自動化無塵無氧烤箱等產品。

對於研發資源的投入,49年來志聖一向不遺餘力,深耕多領域產業之電子製程設備開發多年。因其對「熱」的核心技術,及優異的研發及創新實力,才能在8月以「G8.5面板高效節能熱風多層爐」獲得經濟部工業局所頒發的平面顯示器元件產品技術「傑出產品獎」後,再次推出先進、自動化、節能的綠色半導體製程設備。

志聖表示,在此次展覽中所介紹的「恆溫式無塵烤箱」,可用於Wafer的去水烘乾及封膠後烘乾,產能是業界常用「昇降溫式烤箱」的4倍。專利的V型爐門夾縫式開口設計,氣密性佳、熱散逸低;恆溫設計使HEPA的捕集效率可以維持在最佳狀態,爐內潔淨度可達Class 10。每年可為客戶在製程中減少50%的氮氣耗氣量、減少60%的耗電量,整體節能可以超過50%,此產品業已在國內某半導體大廠完成裝機,並進行認證中。