濾能AMC方案超前部署 搭綠色製程潮

涂志豪／台北報導
濾能董事長黃銘文（右）及總經理黃氣寶。圖／涂志豪
濾能董事長黃銘文（右）及總經理黃氣寶。圖／涂志豪

半導體綠色製程方案廠濾能專注於微污染防治等綠色製程市場，將於6月下旬掛牌上櫃，董事長黃銘文表示，濾能成立之初就鎖定綠色製程應用領域，為半導體產業客戶提供無塵室懸浮氣態污染物（AMC）解決方案，濾能在模組化學濾網應用領域有多項產品專利，在國內10奈米以下先進製程市場占有率已近五成。

濾能去年合併營收8.29億元，毛利率28.7％，稅後淨利0.97億元，每股淨利5.46元。今年第一季合併營收年增61.7％達2.48億元，稅後淨利年增91.6％達0.14億元，每股淨利0.78元。法人預期濾能今年營收將突破10億元大關，年度獲利將續創新高。

晶圓代工龍頭台積電近年來積極轉換採用綠色製程，並在去年向供應商提出將會把供應鏈碳足跡與減碳績效納入其重要採購指標，要求其供應商在2030年前必須節能20％，若無法達成要求恐將失去訂單。至於旺宏、美光、南亞科等記憶體廠，新建生產線亦優先採用綠色製程，濾能因此直接受惠。

濾能總經理黃氣寶表示，AMC防治是半導體先進製程不可忽視的議題，尤其是製程微縮至5奈米以下，大約只要5～17個污染氣體分子沉積就可占滿5奈米線寬並造成良率降低，而且隨著半導體電晶體結構在3奈米或2奈米轉換至環繞閘極（GAA），微污染對良率影響更加敏感，所以AMC防治已是維持先進製造環境潔淨度不可或缺的重要綠色製程方案。

黃氣寶表示，濾能環保組合式濾網AMC方案能大幅度降低客戶濾網耗材成本，減少大量碳足跡對環境的衝擊，並提出次世代產品可回收的循環經濟，除了框體／濾材重複使用可減少60％以上廢棄物外，不可再次使用的濾材也可以再製成RDF燃料棒用於生質能發電，燃燒後的底渣也可以製成環保高壓磚或是水泥添加物，達到100％回收、零廢棄物的循環經濟。

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