《光電股》太極開發碳化矽 最快年底量產

【時報-台北電】太極能源（4934）旗下盛新材料科技報喜，開發第三代半導體碳化矽技術有成，4吋半絕緣碳化矽已有台灣、日本、美國客戶正在進行驗證，若順利驗證完成，預計年底即將進入量產階段。此外，盛新已掌握6吋晶錠從熱場模擬、材料、製程的擴晶技術，未來將直接切入6吋碳化矽基板。

盛新成立於2020年6月，目前資本額4.3億元，太極持股55％、廣運持股8.6％、集團員工持股24％，主要產品為第三代半導體碳化矽（SiC，Silicon Carbide）。

第三代半導體碳化矽通常分導電型（N型，多應用於電動車等功率元件）與半絕緣型（SI型，多應用於5G通訊等功率放大器），太極子公司盛新已具4～6吋N型及SI型碳化矽晶體技術，其中4吋SI型基板已開始進入量產，目前擁有16台長晶爐，其中1台和集團母公司廣運共同研發成功的長晶爐，有效月產量400片。目前包含台灣、日本、美國等多國客戶積極進行認證或進入試產階段。

公司指出，碳化矽基板進入量產前，須經過三階段測試驗證程序，通常為期一年時間，第一階段為送樣測試，第二階段為試產，第三階段則進入每月百片以上量產規模測試。在進入第二階段測試時，客戶便會提前預定產能。目前盛新的4吋半絕緣碳化矽已有台灣、日本、美國客戶正進行驗證，若順利驗證完成，預計年底即進入量產階段。

盛新自主開發從自製晶種、原料，到製程中的掌握晶態穩定、缺陷修補與電性調控、晶體缺陷檢測分析等技術，因此能順利產出高品質碳化矽晶錠、基板。此外，結合集團母公司廣運共同研發的碳化矽長晶爐，也已開發完成，除了可有效降低設備投資金額以外，也可達到保護營業機密和快速量產的目標。

在大尺寸碳化矽長晶技術方面，盛新已掌握6吋晶錠從熱場模擬、材料、製程的擴晶技術，未來將直接切入6吋碳化矽基板，為台灣首家進入可量產的第三代半導體材料碳化矽專業廠商。（新聞來源：工商時報─袁顥庭／台北報導）