Wolfspeed獲SiC離子注入系統，加快碳化矽產能擴增

財訊快報

【財訊快報／記者張家瑋報導】半導體設備製造大廠Axcelis Technologies宣布向全球碳化矽龍頭Wolfspeed交付Purion H200 SiC離子注入系統，以支持Wolfspeed 一系列晶圓廠產能擴張動作，未來該系統將用於電動車應用之功率元件的生產。先前Axcelis即宣布將向歐洲、亞洲客戶交付多台Purion系統。Wolfspeed目前正進行65億美元的產能擴張計畫，其中包括在北卡羅來納州建設約翰·帕爾莫碳化矽製造中心，該製造中心是全球最大的碳化矽晶體生長基地，且正在完成紐約莫霍克谷工廠的最終建設，併計劃在德國薩爾州建造一座高度自動化的200毫米晶圓製造工廠。

Wolfspeed全球晶圓廠運營高級副總裁Missy Stigall表示，電動車普及程度只會越來越高，Wolfspeed將致力於產能擴大，以滿足碳化矽元件需求的激增。

Axcelis總裁兼首席執行官Russell Low說，功率元件市場正在快速增長，是推動Axcelis全球增長的關鍵驅動力，Axcelis支持Wolfspeed晶圓廠產能擴張且對此機會感到高興，將專注於碳化矽功率器件中的高電流注入應用。

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