Semicon China 2024開跑，佳世達旗下資騰科技推出優化半導體製程產品

財訊快報

【財訊快報／記者張家瑋報導】Semicon China 2024展即將於3月20日開幕，佳世達(2352)集團羅昇企業旗下資騰科技，針對ESG、第三代半導體、新建晶圓廠、設備國產化等領域提出一系列解決方案，其中非接觸型渦漩式吸筆已獲碳化矽與光學元件廠客戶採用，全力搶攻半導體製程優化龐大商機。資騰總經理陳國榮表示，因應全球ESG、第三代半導體等趨勢需求，今年將展示一系列針對半導體製造行業的創新產品，主要以提高製程效率、減少環境負荷，並支援產業的永續發展。

資騰表示，超潔淨金屬氣體過濾器為次世代奈米工廠必備，金屬燒結微米級不銹鋼（SUS 316L）短纖維製成薄層金屬膜過濾器，皺褶狀設計增加過濾面積。Load lock chamber排氣過濾而設，縮短排氣時間，提高機台5%至8%之稼動率。

超高精度光阻塗佈泵適用於半導體黃光製程光阻塗佈，以及其他需要精準控制藥液噴吐量的應用場景，幾近零藥液浪費，可與半導體設備（如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等）匹配使用，可提供氣缸式和馬達式控制，穩定性高且壽命長，資騰已提供在地即時服務支援。

非接觸型渦漩式吸筆為資騰自主研發，利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學元件，避免晶圓或是光學元件表面刮傷，提高晶圓傳送效率和穩定性，由於具有客製化和價格優勢，目前已有碳化矽與光學元件廠客戶採用。

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