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看不見的氣體精密監測 從中鋼做到台積電 半導體製程進入奈米化 創控乘勢崛起
在半導體各項製程進入微型化奈米時代，對微粒汙染的掌控度也愈來愈受到重視，作為台灣極為少數的AMC監測廠商的創控，扮演了關鍵角色。
文／尚清林
您知道什麼是AMC嗎？即使台灣作為半導體王國，對於護國神山台積電多少都略知一二的情況，這個名詞對多數人來說可能仍然陌生。
根據《財訊》雙週刊報導，所謂AMC（Airborne Molecular Contamination），是氣體性分子汙染物的縮寫，在常溫常壓下以氣態形式存在空氣中，其含量雖未造成人身傷害，但對精密的半導體產業來說，卻足以造成影響之微量汙染物。簡單說，半導體製程中使用到大量的酸、鹼調配清潔或蝕刻溶液，光阻液則含有溶劑，揮發在空氣中，就容易導致晶圓片受到汙染。
創控董事長王禮鵬期望經過這一番科普之後，市場能夠了解創控在半導體產業中扮演的角色。他說，創控就是精密氣體監測設備研發製造商。在半導體各項製程日益精密、進入微型化奈米時代的趨勢下，AMC監測也日益受到重視。
跨領域 從生技轉半導體
「一開始，我並不是要做AMC監測，而是想投入生技領域開發呼吸道相關醫療器材。」王禮鵬回憶起創業的辛苦過程，他說，自2001年取得美國賓州州立大學工程科學博士，立刻投身於英特爾，負責他所擅長的微機電領域技術，在當時與AMC監測並無太多的連結。
7年之後，王禮鵬為了實現創業夢想離開英特爾。他說，那時候美國最熱門的議題就是biotech（生物科技），於是他與五位好友一同投入生技產業，從所學的微機電領域技術作為基礎，專注在呼吸道疾病檢測設備。在那時候，這項產品很難離開醫院，自然無法順利擴展，很快就燒光自有資金。直到回到台灣後，因為半導體聚落的關係，才又發現到AMC監測的新商機。
「其實，不是我跨領域，不管是生技氣體的監控，或科技領域環境氣體的監控，原理都與所學的機電領域技術有關聯性。」王禮鵬解釋，AMC監測並不是創控所發明，但過往的監測是以實驗室為主，而且主機非常的大，所以沒有適合的商業模式。為了能夠導入商業領域，監測技術及設備要更精準偵測、更即時，及體積縮小，這才是創控努力的方向。
《財訊》雙週刊指出，然而第一家找上創控的，其實是中鋼。由於中鋼需要掌控並及早防制空氣中的可能汙染成分，需要創控協助監控氣體，進行分析。王禮鵬說，聽起來好像容易，其實空氣中存在兩三百種各種不同的氣體，如何設計晶片去即時監測哪個氣體外漏，哪塊遭到汙染，就需要一定門檻了。
至於半導體產業，過往對於氣體汙染的監控並沒有如此重視，唯一的保護機制可能就是在無塵室的出入口處設置濾網。但進入到奈米階段，任何微小的汙染放在晶圓片前都顯得特別巨大，這時候AMC監測才開始顯得重要。
防汙染 晶圓廠標準配備
王禮鵬指出，創控成立的時候，半導體廠對於AMC監測的需求確實不大，可能只有台積電比較重視。但是隨著台積電爆發光阻液汙染事件之後，AMC監測立刻就成為各大晶圓廠的標準配備了。
當先進製程愈往前走，晶圓廠對於AMC監測要求就愈嚴格。舉例來說，當初為了保護晶圓片，台積電就會請協力廠商生產光罩保護盒方便運送、以及不受微粒汙染。現在就連這個光罩保護盒都需要先經過AMC監測，確定所使用的材質不會產生氣體汙染，才可以取得晶圓廠的認證。
《財訊》雙週刊指出，法人分析，從這微小的動作，就可以看出AMC監測需求，隨著半導體高階製程的提升，出現跳躍式的增長。而創控第一季營收在全球半導體設備支出持續擴大下，來到5千5百萬元，年增率為25%；毛利率更是連續多年維持在5成之上，表現的確亮麗。
創控發言人呂秀孺也補充說，目前AMC監測需求，除了半導體產業的大趨勢不變之外，現在美國在公共環境方面，也希望進行完整的監控，取得數據分析，得到防制的效果。在保護人民健康的考量下，預期類似的環境應用端也將隨著各國法規制定，未來會有很大的成長動能。…（本文出自《財訊》雙週刊713期）
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