清大半導體學院院長林本堅稱,台積電EUV量產很久了,技術彎道超車Intel

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【財訊快報/記者李純君報導】前台積電研發副總,也是清大半導體研究學院院長林本堅,今日回憶,各國際大廠在先進晶圓代工製程領域,先前的EUV聯盟,台積電沒辦法參加,改用浸潤式(Immersion)微影技術;而發展至今,台積電已經量產EUV很久了,技術上彎道超車英特爾。 林本堅今日出席清華大學半導體研究學院揭牌儀式,在受訪時回憶,英特爾2002年,號召業界成立EUV LCC聯盟,包括摩托羅拉、AMD等大廠都在裡面,當時目標包括,開發出的設備能夠優先被使用到40奈米與60奈米,這個聯盟當初設定為六家廠商,最後一個名額被IBM搶走了。

他進一步提到,當時因為名額滿了,台積電不能參加EUV LCC聯盟,就自己想辦法,在先進製程的開發上,先採Immersion技術,也因此,台積電其實直到近年的5奈米,才採用EUV機台設備。

但以結果論來看,英特爾率先成立的EUV LCC聯盟,除了英特爾之外,其他5家並沒有再持續了,而且現階段,台積電以EUV設備為主的5奈米製程已經量產很久了,領先全球半導體廠商,但英特爾卻尚未進入EUV量產,此外,英特爾率先成立的EUV LCC聯盟,除了英特爾之外,其他5家並沒有再持續了,以結果來看,台積電反而是領先的。

林本堅也補充,從採用微影技術,讓製程推進、晶片縮小觀點,半導體應用範圍越來越廣,量也很大,實際上,要如何以最低的成本達到最高的效果,才是挑戰。他更提到,不一定從EUV技術去做製程微縮著手,因為用EUV的成本很貴,划不來,但也不代表半導體技術不需要微影,思考重點是,若有別的辦法縮小尺寸且更能降低成本,就用別的辦法。