和正豐PFA無金屬高溫膜片閥 無金屬溶出重大突破

面對半導體、光電及電子業製程每一環節要做到絕對「零」污染，專門為生產各式高功能流量控制產品的製造商－和正豐科技研發的「PFA無金屬高溫膜片閥」，繼FIT-ONE接頭後，再一次顛覆所有人對PFA膜片藥液閥的觀點。今年將在台北國際半導體展發表，地點在台北南港展覽館一館一樓，攤位碼：K2266。

和正豐科技副總陳柏文表示，「PFA無金屬高溫膜片閥」在半導體產業應用可說是重大突破。PFA膜片藥液閥外觀奇特，有如「變形金剛」般，格子狀肋板形體，非常吸睛。創新結構設計，不同坊間其他品牌外型四方使用4支螺絲固定，「圓形」外型設計結合方形本體能穩固閥門震動的優點，產品利用螺牙、螺帽旋轉概念，密封閥門，除性能要求的不洩漏外，大大降低金屬污染的可能性。

無金屬螺絲鎖固，膜片外圍洩漏時，液體沒有通道到達金屬螺絲因而產生污染，完全沒有金屬會溶出的疑慮。可靠耐用的膜片設計，因沒有金屬溶出，膜片因有「耐用」的設計，不必擔心會有金屬溶出、採用降低膜片壽命的設計。高穩定特性，由於熱源隔離的恆溫設計及散熱板結構，熱穩定性高，加強閥門密封性，不容易洩漏，提高產品使用壽命。

其中BPW100氟樹脂藥液用多通閥，客製化設計，降低成本，可以縮短安裝時間。而閥體長度縮短，可以彈性配置機台空間。獨特的閥門緩衝器設計，可以減緩水錘，延長閥門壽命。

值得一提的是高強度FIT-ONE plus，PFA迫緊環擴孔接頭的O形環PFA材質，可耐200度高溫、耐高壓。高剛性接頭結構，抵消材料潛變特性，接頭在高溫作動中仍維持彈性高性能，完全不會洩漏和液體殘留，製程品質穩定性更高。獨創的防鬆脫接頭設計，經拉力測試，拉力值超過標準值150％以上，管子所受承載力量與拉力，能拉長為原有長度的2倍長以上，可延長管子與接頭脫落時間，大大提升FITTING產品於半導體製程應用上安全有效反應時間。

和正豐科技在半導體化學液體應用的領域上，不僅是在前段蝕刻、純水清洗，更跨足到CMP slurry製程，開發的PFA sweep elbow接頭、PTFE多通閥更能全方位滿足客戶的需求。

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