《半導體》環球晶提升技術量能 自產碳化矽長晶爐設備

【時報記者任珮云台北報導】環球晶(6488)今舉行股東會，董事長徐秀蘭表示，碳化矽快速成長、技術也提升的很快，環球晶決定新增製造設備項目，規畫自行設計生產碳化矽長晶爐設備，預計需2年時間開發。

對於市場擔心半導體的市況，徐秀蘭表示，從環球晶5月營收再創新高來看，終端需求仍強勁。以產能來看，目前只有一個小尺寸廠沒有滿載，其他廠都產能滿載，尤其是12吋的產能，終端需求相當暢旺。目前到2028年長單都已經滿了，最長單到2031年。

據了解，目前全球碳化矽由美日廠商寡占，其中的關鍵因素之一為美日廠掌握基板料源，而基板的生產中，又以長晶難度最高，以傳統的矽材來說，通常費時約3-4天即可以長出約200-300cm的晶棒，但以目前碳化矽，可能要2個禮拜才能長出可能不到10公分長度，所以在產出上非常的受限。

此外，碳化矽的長晶過程非常高溫，以傳統的矽可能溫度在1500度，但碳化矽的溫度可能會高達2500度，所以在長晶的過程中難度更高，也無法即時觀察晶體的生長狀況，需要控制的因素也更複雜，也有可能在2週的長晶過程後，最後發現晶棒沒長好而報銷，造成良率不佳。

基於上述因素，環球晶董事長徐秀蘭決定切入自行設計生產碳化矽長晶爐設備項目，以強化產品的可控因素。