《電通股》蔚華前進電子生產製造設備展 秀檢測硬實力

【時報記者王逸芯台北報導】蔚華(3055)今日宣布，於光學檢測領域取得突破，自2023年底推出非破壞性碳化矽(SiC)缺陷檢測系統，廣受市場肯定。今年將於4月24至4月26日電子生產製造設備展的化合物半導體專區登場，展示旗下數位光學品牌南方科技的光學檢測系統，以及具有高附加價值的晶片測試設備和維修服務。其目標是最大化產品服務效益，協助客戶在當前熱門的化合物半導體、功率半導體、Micro LED三大市場商機中取得優勢。

蔚華總經理楊燿州表示，在永續環保的浪潮下，具有高功率、高壓特性的化合物半導體已成為全球能源及電動車產業發展主流，碳化矽基板的品質與價格是決定元件製造、模組生產質量的關鍵因素，也是推動產業發展的核心驅動力，市場上更有「得碳化矽基板者得天下」的說法。蔚華科技鎖定碳化矽基板的市場需求，去年與南方科技共同發表業界首創的JadeSiC-NK非破壞性致命性缺陷檢測系統，協助基板廠節省生產成本，加速製程及產量優化，目前蔚華科技已與全球多家指標性的大廠進行驗證，並根據客戶的回饋持續優化產品及服務，在這次展會上，蔚華科技將推動SiC基板的100%檢測的理念，透過提供每片基板的出貨檢驗報告，協助客戶確保產品品質並維持價格，推動產業標準的建立，促進碳化矽基板交易模式的變革，穩定碳化矽基板的商業發展。

蔚華首次進入化合物半導體專區展位，除了展示JadeSiC-NK的最新技術發展外，還帶來可有效反映寬能隙材料內隱特性的JadeSA-WBG三維應力分析檢測系統，適用於SiC基板、同質及異質磊晶、元件製程材料應力及晶型掌握。另外，今年針對磊晶製程延伸開發的JadeSiC-EPi，透過光學掃描方式檢測磊晶層上的致命缺陷，並可追溯缺陷生成原因，明確製程改善方向。蔚華科技與南方科技合作，不僅將光學技術運用於化合物半導體檢測領域，還擴展到其他熱門應用上，如：適用於Micro LED晶圓巨量PL及非接觸式巨量漏電檢測的JadeML解決方案，未來雙方也計劃加速開發超穎材料、矽光子等創新光學檢測技術。

此外，蔚華科技在測試設備展示方面也相當引人注目。為滿足市場上功率半導體、射頻、SoC等晶片的多樣化測試需求，蔚華科技整合經銷品牌自動化測試與量測系統的領導廠商NI、義大利領導品牌Osai以及自有產品，推出了一系列高效、精密的測試設備及板件維修服務。在功率半導體測試方面，Osai的功率模組測試分類機具有高度自動化和靈活性，能夠針對不同測試環境及需求進行測試性能擴充，搭配上CREA的測試解決方案，更能滿足市場對於KGD(Known Good Die)的測試要求及趨勢，協助客戶以產高品質和高可靠性的產品搶占市場商機。

針對射頻和SoC晶片的高度集成及複雜特性，NI半導體測試系統可對應射頻信號的傳輸特性進行全面測試，並確保晶片在不同應用場景下的穩定性。而蔚華科技SP2500測試設備則具有高效率和高通量的特點，能夠快速完成SoC晶片大量測試任務，提高產品的測試效率和生產效率。