蔚華科搶進化合物半導體檢測系統，攜手旗下南方科技推出JadeSiC-NK

【財訊快報／記者李純君報導】半導體測試設備供應商蔚華科技(3055)，積極卡位佈局第三代半導體檢測領域，宣布攜手旗下數位光學品牌南方科技，推出JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統。蔚華科提到，JadeSiC-NK採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，用以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量並有助於改善製程。若以每個SiC晶錠需蝕刻2片基板來計算，JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的基板廠省下每年2.5億因蝕刻而損耗的成本。

在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC晶片需求迅速爆發，尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件，供給量遠遠不及需求。

然化合物半導體的基板材料品質決定下游晶片的可靠度及性能優劣，但SiC長晶速度較慢，且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC晶片製程成本居高不下，目前全球主要基板廠皆積極投資產能擴充並改善製程，加速產業布局以搶攻市占率。

蔚華科表示，基板廠與元件廠若能在製程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發現問題，進而有效改善製程、提升良率。

南方科技總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統採用先進的非線性光學技術，可對全片基板表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構資訊，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握基板品質，未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。

王嘉業進一步說明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出基板中的致命性晶體缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現行將SiC晶錠切片後取上下二片基板進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與基板成本。

以每個長晶爐每月產出四個晶錠為例，採用JadeSiC-NK後，每個晶錠可省下二片基板成本（每片6吋基板以800美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下台幣250萬元，若是具有100個長晶爐的基板廠，一年即可省下台幣2.5億元。此外，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析。

蔚華科總經理楊燿州表示，考量經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，蔚華加強投資自有產品開發，此次透過併購南方科技，加速自有產品的發展進程，讓蔚華科從半導體封測設備跨足光學檢測，尤其首先鎖定極具前景的化合物半導體材料缺陷檢測。

楊燿州進一步指出，蔚華科與南方科技也自經銷合作，進一步成立先進光學材料檢測實驗室。除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化。