《科技》SEMICON Taiwan國際半導體展 資騰科技秀六大亮點

【時報記者任珮云台北報導】2023年SEMICON Taiwan國際半導體展登場，明基佳世達(2352)集團旗下資騰科技參展。提供綠色製程多項解決方案，利用創新的回收機制，助客戶達成環境永續目標。

資騰科技今年秀六大亮點：

一、臭氧水產生器Ozone Generator：提供晶圓製造過程中，用於晶圓清洗之臭氧水產生設備。UVC-LED式臭氧濃度計，無傳統以汞燈為量測燈源之汞汙染風險，並可有效減少RCA製程的藥劑使用量，能控制並改善環境汙染，符合現行ESG趨勢。

二、揮發性有機氣體回收裝置Volatile Organic Compound Gas Recovery Device：日本大廠Morikawa曾榮獲日本東京都產業技術大獎等多項指標獎項，並獲得日本環境省「VOC處理技術領域實證樣板事業」認定。針對各領域中的VOC溶劑氣體進行液化回收，在減少環境危害的同時降低溶劑購買成本，溶劑回收品質達99.9%，幾乎沒有液劣化，可重複再利用。此次雙方的合作，結合了資騰在半導體領域的產業知識，與Morikawa在回收裝置的技術專長，為半導體製程中提供全新的解決方案。

三、智能清潔液Intelligent Fluids：來自德國的intelligent fluids GmbH提供一種全新的清潔液體概念，藉由創新開發的獨有配方達到去汙、去膠、去光阻等效果。pH值介於5.5~6.5之間，對人體無直接性傷害，無毒且環保，產品萃取於自然界物質，亦可於一般廢水中排放，被分解於自然環境中，降低環境負擔。

四、渦旋型非接觸式吸筆Non Contact Vortex Wand：利用伯努利原理吸取薄片晶圓防止表面刮傷並降低晶圓破損的風險，將大大地提高晶圓傳送的效率和穩定性。

五、隨機性微影圖案誤差解決方案Fractilia Inverse Linescan Model(FILM)：先進半導體製造的隨機性微影圖案誤差量測與控制解決方案，可以有效提高先進製程生產良率。

六、Magnescale雷射尺與校正平台：BL50H雷射尺，結合了高解析度和高速度的控制磁柵尺。不僅適用於傾斜工作台控制，實現皮米(pm)級的精細控制，亦可作為傾斜工作台的高解析度傾斜控制傳感器，為半導體製程提供更大的靈活性和精準度。