日揚真空全金屬閥 聚焦半導體先進製程

文／李其芳

日揚科技（6208）參與2022 SEMICON，以真空及技術服務事業部門聯合子公司「明遠精密」與「實密」共同展出，聚焦四大主題。日揚於真空領域累積20多年的研發及製造經驗，產品大多涵蓋半導體Fab與Sub-Fab端應用，加上子公司新產品頗具獨創性，此次呈現的內容相當豐富。

日揚自主研發的「All- Metal Angle Valve全金屬閥」為真空系統主題區一大亮點。閥門是最接近真空腔體的關鍵零組件，高精密度的閥門對於半導體先進製程尤其重要，日揚耗費多年心血，開發出符合科研單位高真空度需求的全金屬閥，目前於國內市占位居第一、全球第二，是該公司極具代表性的產品之一。

日揚除了維修真空泵，也為半導體廠提供真空管路耗材鍍膜及客製化改管工程服務，並以自有品牌開發微氣泡（Micro-Bubble）的Scrubber尾氣設備，系統性解決尾氣管道粉塵堵塞問題，提升尾氣各設備妥善率，在本次展會以系列影片做完整的呈現。Scrubber利用文式管原理產生負壓，藉由擴大接觸面，能更有效率地捕捉PM2.5，連帶降低乾式泵的故障率，事實上，對於半導體業推進淨零碳排，也有實質的幫助。

此外，SCMS智慧型尾氣監測系統也是此次展出的重點之一，藉由設備訊號上傳至雲端，所有機台即時運作的狀況一目瞭然，不必再像過去派工逐點巡廠，能夠大幅節省人力。而透過大數據分析，可更精準掌握設備的維護管理，進而協助客戶提高生產效率。

儘管部分半導體業者受電子業庫存壓力拖累致成長趨緩，日揚因以維修為業務大宗，並未受到影響，今年營收及EPS成長持續向上。日揚執行長寇崇善博士對於下半年的營運表現，表示審慎樂觀。

據了解，日揚的真空閥門已打入知名設備大廠，有望於後年正式出貨。而日揚跟隨台積電赴美設廠兩年多來，積極耕耘美國市場，業務也有突破性的進展，法人相當看好其未來的成長性。

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