台積電18廠導入次氯酸混合系統，年度綠色效益可達3800萬元

【財訊快報／記者李純君報導】全球晶圓代工龍頭台積電(2330)積極投入綠色製程，公司宣布，投入研發的「次氯酸混合系統」，綠色效益逾3,800萬元新台幣，並預計今年第四季將次氯酸混合系統導入晶圓十八廠。台積電表示，呼應聯合國第6項永續發展目標─淨水與衛生，公司致力精進水資源永續管理，除改造超重力旋轉床使化學需氧量（COD）削減率達70%，為降低處理廢水汙染物的化學品用量及持續提升外排水質，進一步創新研發「次氯酸（HOCI）混合系統」。

台積電進一步解釋，這是透過將次氯酸鈉（NaOCI）轉製為次氯酸水，在維持相同的殺菌與氨氮去除效果下，有效減少99%水中餘氯殘留，同時降低次氯酸鈉使用量、優化設備運作效能，已成功導入晶圓十五B廠；截至民國112年11月，次氯酸鈉減量6,029公噸、減碳752公噸，總計綠色效益達3,170萬元。

此外，台積電也補充，次氯酸鈉主要用於殺菌及去除水中氨氮，因應先進製程演進使其用量增加，為實踐綠色製造使命，由於次氯酸鈉溶於水中並在酸鹼值（pH）5.5-6.5時會產生次氯酸，其氧化及殺菌能力為次氯酸鈉的80倍以上，台積電運用此化學特性，民國111年啟動次氯酸鈉減量計畫，於次氯酸鈉中加入從製程回收的廢液並搭配去離子水（DI Water），經反覆測試調製出三者混合濃度的最適比例，成功開發次氯酸混合系統，減少餘氯殘留且提升硫酸廢液再利用價值，促進環境友善；同時，為克服次氯酸不易保存的特性，該系統創新採用無儲存裝置設計，經監測儀器分析水中汙染物質濃度數據後，由可程式化邏輯控制器計算並下達指令進行精準調配，不僅可穩定產製與即時應用次氯酸，亦強化廢水處理設備運作效率。

公司也重申，開發防治技術為台積電水管理永續發展的重要策略，預計民國112年第四季將次氯酸混合系統導入晶圓十八廠後，總計年減次氯酸鈉用量7,387公噸、減碳922公噸，並降低硫酸廢液委外清運量954公噸，全年綠色效益可達3,884萬元，同時亦列為新建廠區標準設計，朝民國139年落實淨零排放目標邁進。