世界先進宣布,0.35微米650 V氮化鎵製程邁入量產

【財訊快報/記者李純君報導】晶圓代工大廠世界先進(5347)今(22)日宣布,其領先的八吋0.35微米650 V的新基底高電壓氮化鎵製程(GaN-on-QST)已於客戶端完成首批產品系統及可靠性驗證,正式進入量產,為特殊積體電路製造服務領域首家量產此技術的公司。 2018年,世界先進公司以Qromis基板技術(簡稱QST TM)進行八吋QST基板的0.35微米650 V GaN-on-QST製程開發,於今年第一季開發完成,於第四季成功量產,世界先進公司同時已和海內外整合元件製造(IDM)廠及IC設計公司展開合作。

QST基板相較於以矽(Si)作為基板,具有與氮化鎵磊晶層更匹配的熱膨脹係數(CTE),在製程中堆疊氮化鎵的同時,也能降低翹曲(warpage)破片,更有利於實現量產。世界先進的0.35微米650 V GaN-on-QST製程能與既有的八吋矽晶圓機台設備在開發與生產上相互配合使用,以達最佳生產效率及良率。

而世界先進也透露,根據客戶端的系統驗證結果,世界先進提供的氮化鎵晶圓於快充市場的應用上,針對65W以上的快充產品,其系統效率已達世界領先的水準。此外,基於QST基板的良好散熱特性,在整體快充方案效能上,世界先進提供的氮化鎵晶圓具有更優良的散熱表現。

世界先進營運長尉濟時表示:「世界先進的0.35微米650 V GaN-on-QST製程具備效能及可靠性優勢,不僅提供客戶更優化的積體電路設計選擇,亦協助提升客戶產品的競爭力。」

世界先進0.35微米650 V GaN-on-QST製程除了650 V的元件選擇之外,也提供內建靜電保護元件(ESD),客戶得以更便利的進行設計選擇。此外,該製程除具備更優異的可靠性與信賴性,針對更高電壓(超過1,000 V)的擴充性,世界先進也已經與部分客戶展開合作,以滿足客戶的產品需求。