第18屆 金、銀、銅質獎論文摘要

文／莊富安
·2 分鐘 (閱讀時間)

第18屆金質獎論文題目：QCW 雷射用於晶圓隱形切割之研究

摘要：嘗試突破Hamamatsu 的專利範圍，利用QCW 雷射之光源切割薄晶圓，透過高NA值之聚焦鏡使得雷射光能夠聚焦於晶圓內部產生一個高溫的熱點並形成變質層。實驗結果顯示，在雷射脈衝大於1 微秒至連續雷射（CW laser）情況下，都能在晶圓內部形成穩定的變質層達到隱形切割。此方法的優點除了雷射源較便宜外，透過QCW 雷射靈活調控之特性，可視不同情況調製此切割層之厚度以及溫度，使得此製程得以增加更多的靈活度以及提升效率，同時也較容易導入製程系統，期能提升台灣半導體設備的自製率。

●第18屆銀質獎論文題目：強力刮齒法應用於五軸車銑複合機之閉迴路製造技術開發

摘要：強力刮齒法（Power-skiving）為一種高效率的齒輪加工方法，主要應用在圓柱齒輪上的加工，尤其內齒輪加工。該研究成功地在業界常見的五軸車銑複合機上實現強力刮齒法加工，同時整合其他的加工程序（如車、銑、鑽…等），在不卸下夾治具情況下，一次完成所有加工程序，有利增進產品精度。該論文首先應用齊次座標轉換法對強力刮齒法進行數學模型的建立，並利用D-H座標設定法則計算工具機各軸向的關係，進而推導出所需的NC程式，最後進行實際的強力刮齒加工，並利用量測結果進行補償計算，提供一套完整的閉迴路製造方法。

●第18屆銅質獎論文題目：輥軋成形高頻感應焊管全線製程之研究

摘要：藉由有限元素分析方法，以實際之輥軋成形機台為基礎，該論文建立了一套完整之製管有限元素模擬模型，包括輥軋成形製管全線分析模型與HFIW 焊接模型，最終藉以探討製管製程中之成形性與焊接性，並進而提出製管製程之優化設計。透過實際製程之驗證，更證實此套方法之準確性與計算效率，藉由這套分析技術進一步提出之製程優化設計與參數分析流程，除在金屬成形領域具有其學術價值，也提供業界一套完整之電腦輔助分析工具，可以有效率地協助其於製程分析與優化，同時兼具應用價值。

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