工商時報

明遠精密 營運添柴火

張瑞益/台北報導

半導體製程朝向3D結構演進,原子層沉積(ALD)因以原子級厚度精準堆疊、並在高深寬比結構中維持高覆蓋率,正由選配走向標配。業界指出,ALD關鍵周邊臭氧供氣系統已成氧化反應重要供應模組,明遠精密(7704)臭氧供氣解決方案陸續獲國際半導體設備大廠採用,在先進製程、記憶體與先進封裝的導入腳步加快下,有望推升未來接單與營運動能。

明遠精密聚焦「薄膜與電漿製程的設備子系統」,包含臭氧O₃供氣系統、遠端電漿源(RPS)與射頻電源(RF Power)等。該公司表示,臭氧供氣系統可提供高純度、穩定濃度之活性氧化劑,對熱式ALD與部分氧化類CVD製程均能支援。

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受惠2奈米世代、GAA環繞閘極、背面供電(BSPDN)與3D NAND層數攀升等趨勢,ALD站點數量與規格正同步提升,對應到臭氧流量、純度與即時控制能力皆上修。法人解讀,先進製程「站點增加+規格升級」帶動周邊模組價量齊揚,具備高穩定度、高可靠度與在地服務能力的供應商,將優先受惠長單與擴充案,明遠精密已跨入國際設備鏈驗證門檻,訂單能見度可望逐季改善。

營運布局上,明遠精密除持續優化臭氧產生效率與純度控制,也同步強化RPS、RF電源等模組的系統整合能力,協助客戶縮短機台調校時間、提升良率與稼動率;另方面,為因應先進製程對AMC(空氣分子污染)與金屬離子雜質高度敏感,公司亦投入氣路材料、密封與過濾元件的整體方案,提升模組級可靠性。

展望後市,市場預期AI/HPC擴產、HBM與先進封裝量能擴張,將推動ALD滲透率上行,相關臭氧/RPS/RF子系統需求同步放大。明遠精密表示,將以「與國際大客戶協同開發+在地快速服務」為核心,擴大於先進邏輯、記憶體與封裝領域的滲透。

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