■台灣在EUV製程的特用化學擺脫美國技術有多難

■台灣在EUV製程的特用化學擺脫美國技術有多難

文．洪寶山

輝達的北士科總部難產一事，新壽與輝達屬意的「最佳方案」，就是新壽將T17、T18地上權直接移轉給輝達，卻因北市府憂心有圖利財團疑慮，一直未能點頭同意。所以就商業買賣的角度，輝達是願意出價買，新壽也講好價格願意賣，而北市府看到柯文哲敗選後的下場，防弊優先，也可以理解，中央不表態，立場曖昧，因此輝達總部可能落得大家一起輸的下場。

要靠台灣供應鏈共同成大事 有錢好辦事

如何促成這樁買賣，又不落入圖利財團的口實，筆者拋磚引玉，解方就在川普的萬事都可交易，即輝達加碼捐贈市府(非T17、T18不要的指定費)、新壽少賺點、北市府多賺點充實財庫，聰明的話，再從這筆錢撥一些發給市民堵口實，這樣政敵也難用圖利財團的罪名找麻煩。記著，輝達有的是錢，而且要靠台灣供應鏈共同成大事，輝達能接受台積電漲價，也接受了川普對H20銷售中國抽成的政策，想必能花錢擺平北士科總部的麻煩，輝達應該有心理準備。

至於新光人壽，低價標了案遲遲不開發，擺明了養地，將來在類似的BOT標案上，政府部門一定要立下霸王條款─黃金票回收權，返還給財團的金額就是財團已經出資的金額＋利息，拜託，沒發生的未來五十年收益也敢算在市民頭上，又不是高利貸討債集團，金融特許行業的企業社會責任(CRS)都當耳邊風，當初金管會就不該通過台新金、新光金合併案。

奉勸蔣市長一句，擋人家的財路也難登大位，大家願意跟著你混，不就是希望日子越混越好，有本事，應該想辦法把餅做大，讓大家都沾光，心正不怕影子斜，防弊過頭就幹不了大事。中央也要表個態，惦惦地等抓小辮子，弄丟了輝達亞太總部一樣丟臉。

先拋「台灣地位未定論」 再提「晶片五五分」

換個話題，美國商務部長盧特尼克提出台灣晶片製造與美國「五五分」說法，筆者認為台積電已經赴美投資設廠了，「五五分」是遲早的事情，不如就做一樁大買賣，滿足台美雙方的期待。

台灣要什麼？當然是讓國際承認中華民國的主權地位，美國接受這樁交易了嗎？AIT突然拋出「台灣地位未定論」，接著「晶片五五分」之說，顯然兩者之間有著一定的關聯，然後拉美與加海七友邦突然主動公開表達堅定維繫與中華民國台灣邦誼，誰都知道拉美跟加海都是美國的後花園，七友邦這麼有默契表態，可意會不可言語。

既然已經有了默契，那麼不妨更大膽一點，美國想要「五五分」先進晶片，美國就得跟中華民國建交，錢買不到的東西才有價值。台積電要完全技術自主，等於要在設備、EDA、材料、IP四大領域建立完整自主生態，包含EUV、EDA全鏈自主，至少需要一世代以上的時間，並且要投入數千億美元規模的國家計畫。

美國掌握先進製程特用化學材料

本文針對美國掌握先進製程的特用化學材料，分析美商杜邦、陶氏化學、Entegris、CMC這四家，在EUV製程的光阻與研磨液供應鏈的重要性。

台積電N7、N5初期仍採ArF Immersion＋杜邦光阻配方。EUV製程在N5以下部分層級混用杜邦與日本JSR的共配方。杜邦除光阻外，也是全球最大CMP slurry(化學機械研磨液)供應商之一。台積電在銅金屬層製程中使用杜邦的介面研磨液、銅層拋光液、絕緣層研磨液。

陶氏化學提供光阻用樹脂前驅體與添加劑，化學品在光阻的「溶劑、顯影液、剝離液」被台積電N7、N5製程大量採用。

Entegris為全球最大半導體化學品純化、運輸與過濾系統供應商，提供高純度化學品容器、氣體與液體過濾系統、光阻液純化與供應模組，這些都是光阻與蝕刻化學品進入無塵室之前的關鍵環節。幾乎所有先進製程節點皆使用Entegris的供應模組。Entegris在廠內化學品循環系統，特別是EUV廠房的氣體管理模組也供應高純度酸鹼液過濾系統、氣體純化系統、CMP廢液回收與再生系統。

CMC Materials供應台積電化學機械研磨液與拋光墊，在N7、N5、N3製程用於金屬層(Cu/Ta/TiN)與絕緣層間的精密研磨。

美商關鍵化學品 哪些有機會替換成台灣國產

哪些美商關鍵化學品，台灣有機會國產替代？ArF/KrF光阻，台灣中油、台化、長春、永光都有在研發光阻樹脂與單體配方，五至八年可部分取代，但精純度與分子量控制仍落後一代。EUV光阻涉及極複雜高分子設計與電子束敏感反應，台灣目前無此量產技術，十至十五年幾乎不可能。

中華化、永光、長春成功量產高純度TMAH顯影液與溶劑級IPA，顯影液與剝離液可取代80%。佳能化學、勝一、信昌化學具備蝕刻液自製能力，但在蝕刻速率控制上仍落後，可取代 60-70%。

勝一化工與工研院合作發展超純化學回收技術，清洗液與超純化學品可合作替代，有機會自給。勝一、三福化、永光等廠具備氧化層研磨液基礎配方能力，銅層研磨液可替代30%，核心在於微粒分布與表面活性劑控制，台灣仍需技轉或合資。

投入十年  可望達五成關鍵化學品自主化

研磨墊可替代50%，已有旭然、上詮等廠研發聚氨酯材質替代。集中火力發展CMP slurry國產品牌，初期以「成熟製程」為切入點，長期朝7nm以下專用slurry前進。

Entegris壟斷高純度濾芯與容器，華立、力麗化學能生產部分濾芯，但純度穩定性不足，20-30%國產替代。氣體純化模組短期無法替代，含高精密閥體與膜技術，需長期材料科學突破。

台灣要擺脫美商化學品依賴，短期可自給的是「化學溶劑」與「研磨液」；中期可攻的戰場是「ArF光阻」；長期難啃的骨頭是「EUV光阻」與「純化模組」。若政府與產業聯手投入十年，台灣有機會在2035年前達成50%以上關鍵化學品自主化。

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