《半導體》EUV大擴產 家登產能供不應求

時報資訊

【時報-台北電】在晶圓代工廠及IDM廠於7奈米及更先進製程加速導入極紫外光（EUV）微影技術後，DRAM廠也加入EUV戰局。三星電子宣布量產採用EUV技術的DRAM且出貨超過百萬顆，業界認為SK海力士及美光將會加速評估採用EUV。法人則看好家登 （3680） 的極紫外光光罩盒（EUV Pod）訂單湧入，今年內產能已供不應求。家登表示已提前擴產並做好異地備援生產，備戰產能到年底。

雖然新冠肺炎疫情恐對半導體產業造成影響，但晶圓代工廠及IDM廠仍加速建置EUV產能。其中，台積電支援EUV的7+奈米已量產，5奈米將在今年進入量產。三星晶圓代工支援EUV的7奈米在去年底量產，預計今年底5奈米將開始接單生產。英特爾支援EUV技術的7奈米預估明年開始量產自家設計的中央處理器（CPU）。

包括三星、SK海力士、美光等三大DRAM廠去年下半年已開始評估採用EUV技術，以縮短DRAM生產時間及提高微影技術精確度。其中，三星的進度領先同業，近期宣布採用EUV技術的第四代10奈米製程（D1a）已成功量產DDR4顆粒，出貨量亦超過百萬顆規模，三星預期明年將採用D1a製程量產DDR5/LPDDR5等新一代DRAM。

DRAM產業的特性，是加速先進製程微縮以大幅降低單位生產成本。現在各廠主流的1y/1z奈米仍是採用浸潤式微影技術，但多重曝光的生產時間拉長，導致每月產能出現自然減損，而且多重曝光技術生產的DRAM常因可靠性問題而造成客戶退貨。也因此，三星利用EUV技術減少生產時間及提高可靠性，在滿產能投片下有效降低單位生產成本，業界預期SK海力士及美光將為了維持競爭力，提前導入EUV量產。

EUV技術在7奈米邏輯製程及1a奈米DRAM製程順利導入量產，後續先進製程應用的EUV光罩層數會大幅增加，且每層EUV光罩每年需要的EUV Pod約達250個左右，隨著晶圓代工廠、IDM廠、DRAM廠等EUV產能持續開出，EUV Pod需求亦將倍數增加。

家登是全球僅有兩家EUV Pod供應商之一，成為EUV大擴產的最大受惠者。（新聞來源：工商時報─涂志豪／台北報導）

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