《半導體》家登EUV光罩盒夯，出貨爆發

時報資訊

【時報-台北電】全球半導體大廠全力布局新一代極紫外光（EUV）微影技術，台積電及三星已進入量產，英特爾亦啟動EUV技術研發及產能建置計畫，帶動EUV相關載具出貨進入快速成長期。晶圓傳載方案供應商家登 （3680） 受惠於客戶訂單到位，下半年EUV光罩盒（EUV Pod）出貨爆發，明年出貨量可望達今年三倍，營運將一路好到明年。

家登8月合併營收月增25.6％達2.17億元，較去年同期大幅成長57.4％，累計今年前8個月合併營收14.60億元，較去年同期成長50.7％，主要受惠於晶圓傳載方案及EUV Pod出貨放量。家登表示，客戶對於EUV Pod需求強勁，今年底前產能無法因應客戶的需求，半導體本業營收將持續創高到年底，公司對明年展望亦維持樂觀看法。

全球先進製程採用的微影技術已全數轉向EUV。台積電採用EUV的7+奈米已經量產，5奈米，以及6奈米也將在明年進入量產，EUV層數將大幅提升。三星晶圓代工採用EUV的7奈米同樣進入量產，同時評估在DRAM製程導入EUV。英特爾已啟動採用EUV的7奈米製程研發及試產，將在10奈米量產2～3年後開始導入量產。

根據設備大廠艾司摩爾（ASML）推估的EUV技術未來三年發展藍圖，EUV市場滲透率會在未來三～五年出現強勁拉升，而家登目前在EUV Pod市場已是最主要供應商，與各大半導體廠都有密切合作。家登上半年EUV Pod出貨量已經逾1,000顆，下半年出貨量將明顯優於上半年，訂單滿載到年底，明年接單能見度高，預期出貨量會是今年的三倍，對營收及獲利將帶來強勁成長動能。

另外，家登今年在台北國際半導體展（SEMICON Taiwan）與設備大廠迅得機械聯展，展位為歷屆最大規模，搭配迅得機械自動化機台與家登智慧載具，可望持續擴大晶圓載具及EUV Pod市場占有率。另外，家登也將針對客戶需求提供自動化產線設計及設備機台，可望在未來幾年帶來明顯的營收貢獻。（新聞來源：工商時報─涂志豪／台北報導）

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