中芯7奈米競爭力不足，美有意擴大管制至DUV設備，恐影響陸成熟製程擴張

【財訊快報／記者李純君報導】區域性政治意識抬頭下，半導體晶片成為戰略物資，美國以先進製程設備卡住中國推進到1X奈米以下先進製程，而即使中芯國際成功以DUV設備量產7奈米晶片，然成本過高，競爭力也將明顯不及國際其他代工大廠，對現有市況與產業影響甚為有限。展望後續，美國有意將管制範疇擴大到DUV設備，若此事確定，恐將大大影響中國大陸在成熟製程端的擴張與布局。 由於美《實體清單》明文禁止用於1X奈米及以下先進製程之美國技術銷售予被列入清單的公司，多數中國晶圓代工業者因而轉向積極擴充28奈米及以上成熟製程技術，於此同時中國亦積極培植國產半導體設備，企圖達成全非美系製造產線。然而，TrendForce表示，現階段美系設備商仍掌握部分半導體製程關鍵機台，尤其在7奈米以下先進製程仍必須採用美系設備方能製造，短期內要達成全非美系產線的難度相當高，因此，中國積極扶植國產設備，但先進製程關鍵設備仍由美系廠掌握。

值得一提的是，中芯國際在2020年被列入《實體清單》前即已開始發展DUV曝光的N+2（7奈米）製程技術，以當時採購之機台進行研發，近期已正式量產挖礦相關晶片；然而，據TrendForce調查，由於7奈米（含）以下晶片已逼近物理極限，若採用DUV而非轉用EUV技術，則需要經歷更複雜的製作程序，將影響其良率與成本表現，加上挖礦晶片的結構與其他邏輯晶片相較較為簡單。TrendForce認為，該製程產線欲生產更複雜的邏輯晶片難度恐怕相當高，且在美系設備出貨仍然受到限制的狀況下，N+2（7奈米）製程的量產規模將極為有限。

設備禁令成為在中擴產活動之最大變數，過去川普政府曾透過《瓦聖納協議》要求荷蘭停止出口機台至中國，提高設備對中出口的難度，在此背景下，由於中芯國際已於近期成功量產7奈米製程產品，TrendForce認為，美國恐因此再度依循該協議進行遊說，擴大限制範疇至DUV ArF immersion機台，加深對中限制。若該遊說成功，不僅影響中國往7奈米（含）以下先進製程研發推進的可能性，由於ArF immersion機台同時也是40/28奈米擴產關鍵機台，恐怕也將對目前中國半導體擴產主力製程40奈米及28奈米擴產活動造成極大影響。

TrendForce的統計估算數據顯示，以全球12吋約當產能分布，2022年部分，台灣市佔率47%，中國大陸24%，美國7%，韓國13%，其他10%；到了2025年，台灣市佔率43%，中國大陸27%，美國8%，韓國12%，其他10%。若光以7奈米先進製程的全球產能分布來看，2022年部分，台灣市佔率78%，韓國21%。到了2025年，台灣市佔率69%，韓國18%，美國12%，其他1%。