默克和美光聯手為半導體開發GWP替代性蝕刻氣體，降低溫室氣體排放

財訊快報

【財訊快報／記者李純君報導】半導體化材供應商默克與記憶體大廠美光，宣布聯手開發用於半導體製程，能降低全球暖化潛勢(global warming potential; GWP）的氣體解決方案。經過一年的持續合作，美光目前正在測試默克研發部門提供的低GWP替代性蝕刻氣體，從而取代傳統的高GWP材料。目標是，在半導體製程中導入全新且更具永續性的氣體解決方案。 默克集團執行董事暨電子科技事業體執行長凱．貝克曼表示：「永續發展仰賴整個產業的同心協力，尤其需要整個半導體產業鏈的攜手合作。」本次降低全球暖化潛勢氣體的合作為美光和默克的永續合作邁出了第一步。兩家公司皆致力於發掘有助實現永續發展目標的新穎材料，以取代現行應用於乾蝕刻與光罩清洗製程的多種高暖化潛勢的蝕刻氣體。

美光採購企業副總裁 John Whitman說：「我們的新目標是，在2030年減少42%的全球營運所造成的碳排放(相較於2020年)，為此，我們採取了多項措施以實現凈零碳排的運營承諾，包括：投資先進的減排系統，優先使用全球暖化潛勢較低的氣體，外購節能設備，以可再生能源取代石化能源等。」

2022年5月，默克的氣候目標通過第三方單位科學基礎減量目標倡議SBTi（Science Based Targets Initiative）之審核，確認其有助於將全球平均升溫控制在攝氏1.5度內，同時也符合《巴黎氣候協定》的要求。默克承諾在2030年前將公司直接排放(範疇1)與用電產生排放 的總溫室氣體排放量降低50%，而這些溫室氣體排放大多來自於電子科技產業所需的特殊化學品相關製程，透過製程改善，默克在未來將可大幅降低溫室氣體之排放量。此外，默克也承諾在價值鏈排放做到每歐元的碳排放減少52%。

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