清大半導體學院院長林本堅稱，台積電EUV量產很久了，技術彎道超車Intel

【財訊快報／記者李純君報導】前台積電研發副總，也是清大半導體研究學院院長林本堅，今日回憶，各國際大廠在先進晶圓代工製程領域，先前的EUV聯盟，台積電沒辦法參加，改用浸潤式（Immersion）微影技術；而發展至今，台積電已經量產EUV很久了，技術上彎道超車英特爾。 林本堅今日出席清華大學半導體研究學院揭牌儀式，在受訪時回憶，英特爾2002年，號召業界成立EUV LCC聯盟，包括摩托羅拉、AMD等大廠都在裡面，當時目標包括，開發出的設備能夠優先被使用到40奈米與60奈米，這個聯盟當初設定為六家廠商，最後一個名額被IBM搶走了。

他進一步提到，當時因為名額滿了，台積電不能參加EUV LCC聯盟，就自己想辦法，在先進製程的開發上，先採Immersion技術，也因此，台積電其實直到近年的5奈米，才採用EUV機台設備。

但以結果論來看，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾之外，其他5家並沒有再持續了，而且現階段，台積電以EUV設備為主的5奈米製程已經量產很久了，領先全球半導體廠商，但英特爾卻尚未進入EUV量產，此外，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾之外，其他5家並沒有再持續了，以結果來看，台積電反而是領先的。

林本堅也補充，從採用微影技術，讓製程推進、晶片縮小觀點，半導體應用範圍越來越廣，量也很大，實際上，要如何以最低的成本達到最高的效果，才是挑戰。他更提到，不一定從EUV技術去做製程微縮著手，因為用EUV的成本很貴，划不來，但也不代表半導體技術不需要微影，思考重點是，若有別的辦法縮小尺寸且更能降低成本，就用別的辦法。