半導體節水SOP保生產動能 晶圓雙雄拉升再生水替代率

(中央社記者張建中新竹2023年04月2日電)台灣今年再度因久旱造成水情吃緊,半導體用水大戶台積電與聯電面對缺水已有多年經驗,日前均已展開節水措施因應,包括降低系統排水損失、增加廠務廢水回收,同時增加使用再生水,確保生產營運無虞。

南部水情吃緊,台南地區水情燈號自3月1日起調整為減量供水橙燈,南科採總量管制方式節水10%。新竹及苗栗地區水情於3月22日轉為提醒綠燈。而高雄3月30日起水情也下調為減量供水橙燈,針對每月用水超過1000度非工業用水大戶減供20%,工業用戶減供5%至20%。

台灣科學園區科學工業同業公會會員遍及竹科、中科及南科,秘書長張致遠說,目前水情以南部最為嚴峻,除了減量供水外,廠商均已開始執行節水措施;新竹與中部地區水情還不是非常緊急,不過會持續謹慎觀察。

竹科園區內前10大用水廠商於3月初水情燈號還是藍燈時,即預先開始自主節水5%;隨著水情趨於緊俏,3月底擴大至竹科、竹南及銅鑼園區廠商全面自主節水5%,並持續滾動檢討相關因應措施。

竹科管理局指出,新竹園區一天用水量約14萬噸,除寶一、寶二水庫供水,並透過桃園及新竹幹管「北水南運」,一天最多可供應大新竹地區用水22.5萬噸。廠商節水有助延緩水情加劇,再生水及海淡水等多元水源也有助強化用水安全。

節水也有SOP 從日常到生產降低耗水量

晶圓代工大廠台積電及聯電過去經歷多次缺水情形,面對不同限水階段皆備有因應計畫,並不斷精進製程技術,強化生產效率,以及大幅增加使用再生水,對用水的風險承受度已有進一步提升。

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以2021年大旱為例,竹科當時節水率曾達17%,聯電與台積電都曾出動水車買水支應;如今若節水率達到20%,聯電還不需要出動水車。

綜合廠商節水措施,在非生產端的調整,包括生活、廁所用水減壓,以及停止澆灌及外牆清洗、停止淋浴及泳池用水、餐廳使用免洗餐具等,均有助於降低日常的用水量。

廠務及機台端的節水措施是台積電與聯電努力的重點,包括透過中央濕式洗滌塔廢水回收再利用、有機廢水回收再利用、回收水再精煉為工業水、酸性廢水回收等,積極在生產環節中增加廠務廢水回收。

廠商並透過減少冷卻水塔、沙濾塔逆洗水,降低廠務系統用水量;同時安裝外氣空調箱冷凝排水回收系統,降低系統排水損失。此外,提升調配回收水使用效率、回收系統RO產水率,以及減少生產機台用水,進行排水回收,也都具有不錯的節水成效。

不想看老天臉色 晶圓雙雄拉升再生水替代率

為降低對天然水資源的依賴,台積電與聯電都計劃提高再生水用量。台積電預計今年南科再生水廠可供應台積電南科廠20%的用水量,2025年台灣廠區再生水替代率達40%,2030年再生水替代率進一步達到60%水準。

聯電不僅在新加坡廠最初建廠即導入再生水,台灣竹科及南科廠也將配合政府使用再生水,預計2025年再生水替代率達25%,2030年再生水替代率進一步達40%。

聯電表示,過去未曾因水情吃緊影響生產營運,只有在出動水車買水時造成成本微幅增加,預期這次生產營運同樣不會受到影響;台積電也預期,藉由全面的營運持續管理政策及企業風險管理系統,水情對營運應不致有實質性影響。

竹科管理局指出,自石門水庫到寶二水庫的專管,有機會在2026年完工,一天供應量可達30萬噸水,將有助進一步強化大新竹地區用水安全。