(中央社記者張建中新竹2007年12月1日電)經濟部技術處產業技術知識服務計畫 (ITIS)指出，根據統計，2006年台灣半導體設備市場規模達73.1億美元，年成長率為7.5%，預估今年市場規模可望擴增至95億美元以上，年增率逾3成，高居全球之冠。

台灣今年前3季以曝光與描繪設備、蝕刻設備及CVD設備等三大設備市場為大宗，其中曝光與描繪設備市場規模為13.5億美元，所佔比重約16.1%，蝕刻設備市場規模為11.5億美元，約佔13.7%，CVD設備市場規模為10億美元，佔11.9%。

ITIS表示，雖然目前日本仍為全球最大半導體設備市場，不過2009年台灣市場規模便可望追上日本，於2010年一舉超越日本，成為全球最大的半導體設備市場，足見台灣半導體產業分工精細與虛擬整合優勢，連帶使得國內半導體設備市場規模有效擴大。

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